MPI ST800-D

产品简介

ST800D可用于检测晶圆，从而分选好坏，最大支援 8 吋晶圆 & 双取放头架构，高置放精度 & 高产能，弹性支援多样式晶圆载具，可快速换线，客制化生产应用流程 & 功能，支援多项应用功能选配: AVI、FFU等，支援大范围晶片尺寸 0.15~30 mm，支援MES/SECS GEM 生产程序。