对于不同的要求，MPI提供了多种：同轴、 三轴、射频、毫米波、大功率夹头、从环境温度到-60°C至300°C，可用选项的示例包括带有真空孔的专用顶表面，镀金或纯绝缘材料制成的表面。
具有ERS集成技术
热控制器触摸面板方便快捷
具有ERS独特的AC3冷却技术
高热稳定性探针台板，接触质量较佳
应用于-60°C至300°C的环境温度。
| 说明 | ERS集成技术(IT) 在不同温度下进行晶圆探测仍然是一个重大挑战，MPI与ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供热卡盘的统一软件和硬件集成：测量结果、减少维护、同类较佳的热特性、较快的过渡时间、更好的系统平坦度、在整个温度范围内具有出色的热分布。 MPI和ERS AirCool®PRIME技术 MPI公司和ERS电子有限公司共同设计了新型300mm热卡盘AirCool®PRIME技术系列，可将浸泡时间减少60%。这些系统可以配置为具有-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的较低温度起点，并具有200°C或300°C的较高终 |
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