Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁，不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针，这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。
气浮式样品移动系统
适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。
| 说明 | TS150&TS200&TS300应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性，具备可以快速拖动样品台，更换样品功能，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性提高95%。MPI 全系列探针台具备模块化设计,可搭配不同变倍比显微镜，同时与德国ERS联合开发设计具有气冷温控技术的Thermal Chuck同步使用。 |
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