TS2000-DP是MPI提供一套多功能且经济高效的8寸半自动高功率测试探针台，可在20°C至300°C的温度范围内进行晶圆载片上高功率应用的测量，且测量能力高达3kV(三轴)/10kV(同轴)和600A(脉冲)。
可提供最高12倍的高压
具有防电弧技术
可配置多种仪器连接套件
可应用于晶圆的高功率测量。
| 说明 | 探针卡和微型定位器 TS2000-DP可提供最高12倍的高压(最高3kV三轴或10kV同轴)或4倍的多手指高电流(最高400A的微型定位器)。其具有的大量单探头，专用于防电弧高功率探针卡的的探针卡夹，使得该系统成为高功率设备特性测量的理想选择。 防电弧技术 该系统配备了ArcShield™，可防止卡盘和探针压板之间发生任何可能的电弧。防电弧探针卡具有在DUT周围施加高压的能力，并且可以使用帕申定律来防止焊盘之间产生电弧。特别设计的防电弧LiquidTray™只需将其放在高功率卡盘表面即可用于抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内，以浸没在液体中进行无电弧高压测试。此卡盘可在300° |
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