MPI TS2000的专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对MEMS、高功率、RF和mmW器件测试的特殊要求。
DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
至高 110 GHz
至高 10 kV / 600 A
25°C至 300 °C
内置被动式防震系统
可乘载达 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具
适用于多种量产型晶圆量测应用。
| 说明 | 超大面积工作台 TS2000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面，以适应多达12套直流或4套射频的微定位器，集成了负载拉力调谐器或更大面积的微定位器，使得TS2000系统成为射频和毫米波测量的理想选择。 快速的晶圆装载 宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200mm的晶圆，及微小器件的快速更换，两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面，可以很方便地进行装卸。 集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。 温控系统 便捷式的触摸屏来操作热卡盘(从20°C或环境温度到最高30 |
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