MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统,其包含独特的侧面自动装卸功能。
模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
失效分析 - 探针卡 / 节间探测
可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境,专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
支持飞安级低漏电值量测
支持温度范围 -60 °C 至 300 °C
适用于多种晶圆量测应用。
| 说明 | ShielDEnvironment™ MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微屏蔽暗箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。 ShielDCap™ MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种测试组合。 自动化晶圆装载系统 该功能提供了非常方便的晶圆装载,并且易于针对自动程序进行预对准,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆。 安全管理(STM)系统 独特的STM系统可防止在测试过程中打开正门,以保证测试过程的安全,任何情况下都 |
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