MPI TS2500系列并非配备装载机的工程探针台,该系列专为精准可靠的全天候生产测试而设计。 TS2500-SE 整合了 ShielDEnvironment™ 技术,提供防光和电磁屏蔽性能,确保超低直流与射频噪声测量的精准性。
射频量测 - 至高 67 GHz
可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测
标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
可支持配至薄50um薄晶圆选项
20℃到300℃
主要应用于直流/恒压、射频、大功率测试,或在规定测试环境下对MEMS及其他传感器的检测。
| 说明 | 高承载量 自动化系统配备专用末端执行器,结合适用于100/150/200毫米晶圆的双晶圆盒托架,实现高效晶圆交换与加速测试进程。TS2500系列可达10个芯片/秒(取决于最终系统配置),是离散射频和高功率器件以及集成电路(IC)生产电气测试的理想选择。 先进的对准技术 先进的对准功能,如标准离轴和可选的卡盘安装式上视摄像头,使TS2500成为复杂射频和高功率测量配置中测试的理想平台。MPI Photonics自动化部门数十年的经验确保了这些功能的可靠性。 晶圆ID读取器亦可选配。 高压、大电流及超高功率探针 MPI高功率探针解决方案包含专用大电流探针,采用MPI专有多点 |
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