MPI TS300-SE手动探针台系统具有很强的功能，具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计，具有用于安全，接触(0µm)，分离(300µm)和加载(3mm)的三个抬升位置，这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置； 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm)，可轻松方便地将探针与卡盘对齐。
ShielDEnvironment™
应用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)。
| 说明 | MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探针台旨在对300mm晶圆及以下微小器件提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能环境。它将适宜的高度与防震台结合在一起，使日常操作非常方便。 1、适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA) 2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境 3、支援飞安级低漏电量量测 4、内置防震系统 5、温度量测范围 -60 °C |
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