MPI

MPI TS3000-HP & TS3500-HP

测试效率显著提高温度和测量范围较广精确度较高

TS3000-HP 和 TS3500-HP 是 MPI 的两个新的专用探针台，用于在-60 ° C至 +300 ° C的宽温度范围和 3 kV(三轴)/10 kV(同轴电缆)和 600 A 测量范围，可以对薄晶圆或 Taiko 晶圆进行测试

产品简介

TS3000-HP 和 TS3500-HP 是 MPI 的两个新的专用探针台，用于在-60 ° C至 +300 ° C的宽温度范围和 3 kV(三轴)/10 kV(同轴电缆)和 600 A 测量范围，可以对薄晶圆或 Taiko 晶圆进行测试。

说明	两个系统都包含 MPI 的 ShielDEnvironment™，用于超低噪声测量，TS3500-HP 是提高测试效率(最高 10 倍)和全自动晶圆处理(例如 150 mm SiC、200 mm GAN 以及 300 mm SiGe 晶圆)的理想选择。