MPI TS3000-SE Probe System

技术优势

• 适用于多种晶圆量测应用

  适用于多种晶圆量测应用

• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，

  模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

  射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性测试 - 精确的压力测试

  可靠性测试 - 精确的压力测试

• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

  MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境，以得

  专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境，以得到 1/f 超低噪测试结果

• 支援 fA 级超低噪 IV 量测

  支援 fA 级超低噪 IV 量测

• 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

  可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

• 具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

  具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

• 应用方向

  适用于多种晶圆量测应用。