MPI的TS3000是半自动300mm探针台测试系统,搭配独特的可开放式下做高低温测试,专门为产品工程,故障分析,设计验证,晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。
模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
温度范围-60°C至300°C
较强的灵活性
具有特定设计的电缆接口,可实现与功能测试仪的较短电缆距离,可实现更好的测量方向性
较小的卡盘到工作台面高度可实现不错的内部节点探测
通过在内部集成热系统的冷却器,将系统占地面积降至较低
专门为产品工程,故障分析,设计验证,晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。
| 说明 | IceFreeEnvironment™ 结合了MPI的IceFreeEnvironment™,TS3000可以在-60至300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行微型定位器和(或)探针卡测试,并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。 探针悬停控制 MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制,以实现探针到晶圆的精确定位。 超大面积工作台 TS3000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面,以适应多达12套直流或4套射频的微定位器,集成了负载拉力调谐器或更大面积的微型定位器,使得TS3000系统成为RF和mmW测量 |
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