TS3500和TS3500-SE 在功能上与MPI的 TS3000 和 TS3000-SE 300毫米探针台具有相同的功能,并通过配置或升级MPI独特的WaferWallet™而具有完全自动化的功能。
模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
可靠性测试 - 精确的压力测试
先进的测试控制软件套件
支持温度范围 -60 °C 至 300 °C
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境,专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
支持飞安级低漏电值量测
适用于多种晶圆量测应用。
| 说明 | WaferWallet™ 在建模和新技术开发过程中进行器件表征的常见做法是,通过极其精确的IV-CV,1 / f,RF,mmW和负载拉力测量从典型的几个晶片中提取数据, MPI的WaferWallet ™扩展了TS3500系列自动化功能,而不会影响测量能力。WaferWallet ™设计有五个单独的托盘,可按人体工程学手动装载150、200 或300毫米的“模型”晶圆,可以在不同温 度下用多达五个相同的晶片进行全自动测试。 冷热硅片的交换 在晶圆装载和卸载过程中不再需要使卡盘返回到环境温度。借助WaferWallet ™,MPI通过独特的装载/卸载晶圆功能而使卡盘保持在任意测试 |
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